李晨 1,2,3,*李浩 1杨研伟 1
作者单位
摘要
1 陕西科技大学 机电工程学院,西安 710021
2 西安交通大学 机械工程学院,西安 710049
3 西安交通大学 精密微纳制造技术全国重点实验室,西安 710054
针对商用低精度惯性测量单元具有高成本、制造工艺复杂、废弃后污染环境、不能生物降解等缺点,提出一种低成本、可生物降解的木制惯性测量单元。该设计包含平衡振子和非平衡振子单元,分别用于测量3轴加速度和3轴角加速度。采用激光诱导石墨烯的工艺在木梁上制备应变传感器阵列,并形成多组惠斯顿电桥测量电路。结果表明:加速度方面,X轴灵敏度为0.006 mV/g,Y轴灵敏度为8.695×10-4 mV/g,Z轴灵敏度为0.200 mV/g;角加速度方面,X轴灵敏度为0.285 mV/(rad/s2),绕Y轴旋转的灵敏度为0.305 mV/(rad/s2),绕Z轴旋转的灵敏度为0.765 mV/(rad/s2)。与有限单元法仿真结果对比,实验测量误差在10%以内,且具有良好的重复测量精度。该惯性测量单元在木制船舶、木制载具、木制家具等方面具有潜在的应用前景。
惯性测量单元 激光诱导石墨烯 陀螺仪 加速度计 木材 Inertial measurement unit Laser induced graphene Gyroscope Accelerometer Wood 
光子学报
2024, 53(2): 0212005
Qiushuang Chen 1,2Li Chen 1,2,*Cong Chen 1,2Ge Gao 1[ ... ]Jichun Ye 1,2,**
Author Affiliations
Abstract
1 Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Ningbo 315201, China
2 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
AlGaN-based light-emitting diodes (LEDs) on offcut substrates enhance radiative emission via forming carrier localization centers in multiple quantum wells (MQWs). This study introduces the carrier transport barrier concept, accessing its impact on the quantum efficiency of LEDs grown on different offcut sapphire substrates. A significantly enhanced internal quantum efficiency (IQE) of 83.1% is obtained from MQWs on the 1° offcut sapphire, almost twice that of the controlled 0.2° offcut sample. Yet, 1° offcut LEDs have higher turn-on voltage and weaker electroluminescence than 0.2° ones. Theoretical calculations demonstrate the existence of a potential barrier on the current path around the step-induced Ga-rich stripes. Ga-rich stripes reduce the turn-on voltage but restrict sufficient driving current, impacting LED performance.
carrier localization step-bunching potential barrier offcut substrate DUV LEDs 
Chinese Optics Letters
2024, 22(2): 022501
陈力 1,2殷一民 1,2李玉栋 1李猛 1,2陈爽 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国空气动力研究与发展中心 设备设计与测试技术研究所,四川绵阳62000
2 中国空气动力研究与发展中心 空气动力学国家重点实验室,四川绵阳61000
为了测量复杂流动速度分布,基于分子标记示踪原理建立了飞秒激光电子激发标记(FLEET)测量装置。开展了超声速混合流动速度分布测量实验,获得了马赫数3.0射流分别与马赫数2.0,2.5及2.9射流形成的混合流动速度分布的测量结果;结合大涡模拟和纹影实验,显示了混合层的流场结构。利用延迟10 μs的荧光标记线与荧光基线的位移差,分析得出实验中FLEET速度测量的不确定度优于5 m/s;在高低速主流区,FLEET测量的速度结果与计算结果基本一致;在混合层,FLEET实现了较大梯度的速度分布测量,混合层的厚度与纹影实验结果符合较好。实验表明,建设的FLEET装置具有较强的工程实验能力,能够实现超声速混合层等复杂流动速度的分布测量。
飞秒激光 分子示踪 速度测量 超声速混合层 femtosecond laser molecular tagging velocity measurement supersonic mixing layer 
光学 精密工程
2023, 31(19): 2781
Author Affiliations
Abstract
1 Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China
2 Beijing Superstring Academy of Memory Technology, Beijing 100176, China
3 Research and Development Center of Optoelectronic Hybrid IC, Guangdong Greater Bay Area Institute of Integrated Circuit and System, Guangzhou 510535, China
4 Microelectronics Institute, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
5 Hefei National Laboratory, Hefei 230088, China
Fifteen periods of Si/Si0.7Ge0.3 multilayers (MLs) with various SiGe thicknesses are grown on a 200 mm Si substrate using reduced pressure chemical vapor deposition (RPCVD). Several methods were utilized to characterize and analyze the ML structures. The high resolution transmission electron microscopy (HRTEM) results show that the ML structure with 20 nm Si0.7Ge0.3 features the best crystal quality and no defects are observed. Stacked Si0.7Ge0.3 ML structures etched by three different methods were carried out and compared, and the results show that they have different selectivities and morphologies. In this work, the fabrication process influences on Si/SiGe MLs are studied and there are no significant effects on the Si layers, which are the channels in lateral gate all around field effect transistor (L-GAAFET) devices. For vertically-stacked dynamic random access memory (VS-DRAM), it is necessary to consider the dislocation caused by strain accumulation and stress release after the number of stacked layers exceeds the critical thickness. These results pave the way for the manufacture of high-performance multivertical-stacked Si nanowires, nanosheet L-GAAFETs, and DRAM devices.
RPCVD epitaxy SiGe/Si multilayers L-GAAFETs VS-DRAM 
Journal of Semiconductors
2023, 44(12): 124101
作者单位
摘要
1 桂林理工大学环境科学与工程学院, 广西 桂林 541004
2 中国人民解放军军事科学院防化研究院, 北京 102205
乙腈广泛应用于医药、 化工等领域, 而乙腈属于易燃易爆化学品, 其引发的火灾事故具有极大的危害。 研究乙腈燃烧的温度场与浓度场、 火焰辐射光谱以探究其火灾污染特性具有重要实用价值。 首先采用平面激光诱导荧光技术(PLIF)与Fluent数值模拟方法, 获取了5 cm尺度乙腈池火燃烧产物NO在20、 40、 60和80 s时刻的空间浓度值, 并结合CFD与FDS仿真模拟获取了不同时刻下乙腈燃烧温度场与浓度场信息。 其次, 采用所获取的乙腈火焰温度场和浓度场数据(将火焰划分为6个热力学平衡区域), 并基于HITRAN数据库内高温气体分子吸收系数与火焰总体辐射传输方程构建了乙腈火焰光谱辐射模型。 再次, 将所得乙腈浓度场与温度场数据代入火焰光谱辐射模型, 模型模拟计算结果与相同条件下乙腈火焰光谱实测数据进行对比, 以验证模型精度, 然后再与Radcal模型进行精度对比。 最后, 利用自行构建的火焰光谱辐射模型对燃烧特征污染产物NO进行了浓度反演。 结果表明: (1)5 cm尺度乙腈池火火焰温度范围为400~1 000 K, 在池火上方60~80 mm区域温度较高, 最高温度为945 K。 (2)在20、 40、 60和80 s时刻下5 cm乙腈池火燃烧产物NO的体积分数为0.005%~0.025 5%, H2O的体积分数为0.034 5%~0.062 5%, CO2的体积分数为0.055 5%~0.085 5%。 (3)自行构建了乙腈火焰光谱辐射模型, 模型模拟值与实测值对比得出, 燃烧产物中CO2特征峰处准确度最小为86.8%, 最大为88.7%; NO特征峰处准确度最小为79.6%, 最大为84.9%; H2O特征峰处准确度最小为84.6%, 最大为89.1%。 与Radcal模型计算的光谱辐射值进行对比, 自行构建的模型计算精度提升约10%。 (4)在5.62~5.66 μm主导波段, 乙腈燃烧特征产物NO在20、 40、 60和80 s时刻下的浓度反演精度分别为76.9%、 78.5%、 94.7%和81.3%。 此研究可为探测大尺度乙腈类化学品火灾的燃烧场信息以及遥感定量反演燃烧污染产物浓度提供基础与参考。
乙腈池火 燃烧浓度场 燃烧温度场 火焰光谱辐射模型 浓度反演 Acetonitrile pool fire Combustion concentration field Combustion temperature field Flame spectral radiation model Concentration inversion 
光谱学与光谱分析
2023, 43(12): 3690
作者单位
摘要
1 西安理工大学, 西安 710048
2 西安电子科技大学, 西安 710071)
为抑制像素阵列在曝光阶段的暗电流对图像传感器动态范围和输出图像质量的影响, 基于同步自适应的暗电流跟踪机制, 提出一种电路与系统级暗电流积分补偿方法。通过采样输出有效光电信号, 在无源处理阶段同步进行暗电流消除。该方法不仅可以补偿不同区域暗电流对有效光电信号的影响, 而且可解决传统暗电流消除方法对读出电路动态范围会造成衰减的问题。基于该方法, 在55 nm CMOS工艺下设计了一种752×512阵列规模的CMOS图像传感器, 实现了完整的电路设计、版图设计与后端物理验证。结果显示, 采用集成暗电流补偿技术的采样放大电路对暗电流最小补偿精度可以达到12 bit, 补偿范围最大可以达到500 mV, 单列功耗仅有1584 μW, 同时可实现1~4倍的增益, 最小增益步进625%。实现了从模拟前端根除暗电流对CMOS图像传感器图像质量和动态范围的影响, 为高端、高性能的CMOS图像传感器设计提供了一定的理论支撑。
CMOS图像传感器 暗电流补偿 同步自适应 动态范围 可编程增益放大器 CMOS image sensor dark current compensation synchronous adaptive dynamic range programmable gain amplifier (PGA) 
微电子学
2023, 53(3): 451
朱安 1,2,*陈力 2
作者单位
摘要
1 江西理工大学 能源与机械工程学院,江西南昌33003
2 福州大学 机械工程及自动化学院,福建福州350108
为了实现空间机器人捕获航天器及辅助对接操作的柔顺化,对航天器对接装置的输出力与位姿的精确控制进行了研究,且在关节电机与机械臂之间添加了弹簧阻尼缓冲装置,以防止接触、碰撞时产生的巨大冲击力造成关节破坏。首先,结合Newton第三定律、捕获点的速度约束及闭链系统的几何约束,获得了捕获航天器后的混合体系统动力学方程,通过动量守恒关系计算了碰撞冲击效应与冲击力。接着,通过航天器对接装置相对载体坐标系的运动学关系,建立了对接操作过程中的阻抗模型。然后,设计了一种鲁棒自适应双层滑模控制策略,其与阻抗控制相结合,采用力加载随动控制系统实现对接装置的位姿与输出力的精确控制,以降低接触、碰撞时的冲击力。该控制策略具有双层滑模结构,其第一层保证混合体系统在有限时间内收敛,第二层用于解决控制的高增益问题。最后,通过Lyapunov定理证明了系统的稳定性;利用数值仿真验证了所提控制策略的有效性。仿真结果表明,在给定的速度下缓冲装置最大可将碰撞冲击力矩降低46.78%,输出力的控制精度优于0.5 N,位置、姿态的控制精度优于10-3 m,0.5°。
双臂空间机器人 缓冲装置 辅助对接操作 阻抗控制 双层滑模 dual-arm space robot buffer device auxiliary docking operation impedance control double layer sliding mode 
光学 精密工程
2023, 31(22): 3266
潘志强 1,2,*李晨 1,2蒋正武 1,2
作者单位
摘要
1 同济大学先进土木工程材料教育部重点实验室, 上海 201804
2 同济大学材料科学与工程学院, 上海 201804
基于生命周期评价方法研究了矿渣-硫铝酸盐水泥生产过程的环境影响, 采用敏感性分析方法探明了全球变暖潜值(global warming potential, GWP)及初级能源消耗(primary energy demand, PED)两种环境影响的主要来源, 并分析了矿渣-硫铝酸盐水泥相比硅酸盐水泥的碳减排效应。结果表明: 在矿渣-硫铝酸盐水泥的生产中, 熟料煅烧对GWP贡献最高, 原料开采对PED贡献最高; 敏感性分析显示石灰石用量与煅烧煤炭用量对GWP影响最大, 而煤炭与生产过程电力使用对PED影响最大; 与硅酸盐水泥相比, 矿渣-硫铝酸盐水泥的GWP显著降低, PED略微减少; 高矿渣掺量下矿渣-硫铝酸盐水泥力学性能的不足可能影响其应用前景。
硫铝酸盐水泥 生命周期评价 环境影响 碳减排效应 低碳水泥 矿渣 calcium sulfoaluminate cement life cycle assessment environmental impact CO2 mitigation effect low-carbon cement slag 
硅酸盐通报
2023, 42(11): 3955
作者单位
摘要
1 北京信息科技大学 机械工业现代光电测试技术重点实验室,北京 100192
2 北京信息科技大学 光电测试技术及仪器教育部重点实验室,北京 100192
为了线结构光平面标定的准确性和高效性,以及提高线结构光平面标定方法的普适性,提出了一种基于2维圆形标靶的线结构光平面标定方法。采用光条提取算法得到照射在2维圆形标定靶任意位置处光条中心点的亚像素坐标值,将光条上所有点拟合成直线,交圆形标定靶每列靶标连线于一点; 得到每列靶标连线与拟合出的光条中心线交点后,连接交点与相机光学中心形成一条直线; 联立该连线的直线方程与像素坐标系下两条交线的直线方程,以及2维圆形标定靶所在平面的方程,求解出每个交点在相机坐标系下的坐标; 最后采用最小二乘拟合算法进行平面拟合,得到了所求光平面方程; 介绍了该标定方法的基本原理和实现过程,搭建实验系统对其有效性进行了验证。结果表明,用该方法求取光平面的平均测量误差可以达到2.36737 mm,鲁棒性高,且标定流程十分简便,适用于一般的工程应用和机械加工过程。该研究为线结构光传感器的光平面标定提供了参考。
图像处理 线结构光平面标定 光电视觉检测 机器视觉 image processing linear structured light plane calibration optoelectronic vision inspection machine vision 
激光技术
2023, 47(6): 795
李栋 1,*周哲海 1,2暂慧新 1李忠祥 1[ ... ]赵爽 1
作者单位
摘要
1 北京信息科技大学 机械工业现代光电测试技术重点实验室, 北京 100192
2 北京信息科技大学 光电测试技术及仪器教育部重点实验室, 北京 100192
在对传送带上物体进行三维扫描成像过程中,位移标定方法的便捷性、准确性对于最终的成像精度和效率有非常重要的影响,但传统的位移标定方法需要已知位移平台或者传送带的运动速度或严格控制两次标定图片中标定板之间的精确位移,使得标定过程较为复杂。论文提出了一种专门用于传送带上物体测量的线结构光三维扫描成像系统的位移标定方法。只需要采集一系列标定板随传送带移动的位移标定图片,从中提取两张帧数间隔大于1的图片并记录对应的帧数,即可对单帧位移进行标定。介绍了该标定方法的基本原理和实现方法,搭建了线扫描单目成像系统,并对双阶梯型精度块进行了三维重建。实验结果表明,方法原理简单,操作便捷,测量速度更快且重建误差小于0.3mm,适用于以传送带作为主要运输工具的各个领域的实时三维测量。
位移标定 传送带 线结构光 三维成像 displacement calibration conveyor belt linear structured light three-dimensional imaging 
光学技术
2023, 49(3): 293

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